NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm-Entwurf
[NEU]
DIN 50450-2
DIN 50450-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle
Titel (englisch)
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 2: Determination of Oxygen impurities in Nitrogen, Argon, Helium, Neon and Hydrogen using a galvanic cell
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 50450-2:1991-03 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Inhaltsverzeichnis eingefügt; b) Einheit in µmol/mol geändert; c) im Abschnitt 10 die Berechnung der Messunsicherheit aufgenommen; d) im Abschnitt 11 Angaben im Prüfbericht ergänzt; e) Anhang A mit Beispiel zur Berechnung der Messunsicherheit aufgenommen; f) Literaturhinweise hinzugefügt; g) Dokument redaktionell überarbeitet.
