Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle
Kurzreferat
Das Verfahren dient dazu, den Stoffmengenanteil an Sauerstoff in den Gasen dieser Norm zu bestimmen. Es erfasst eine Anteilsbestimmung zwischen 1 µmol/mol und 10 µmol/mol und kann für die Analyse des Sauerstoffrestgehaltes in den Gasen Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff eingesetzt werden. Die Anwendbarkeit auf weitere Gase und niedrigere Nachweisgrenzen müssen jeweils geprüft werden.
Beginn
2025-02-03
Geplante Dokumentnummer
DIN 50450-2
Projektnummer
06236881
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit
Ersatzvermerk
Vorgesehen als Ersatz für DIN 50450-2:1991-03
Norm-Entwurf
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle
2025-07
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