NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

ISO/TC 202
Mikrobereichsanalyse

Normung im Bereich der Mikrobereichsanalyse (Messung, Parameter, Verfahren und Referenzmaterialien), die Elektronen als einfallenden Strahl und Elektronen und Photonen als Detektionssignal verwendet. Die Verwendung von Ionen für die Probenvorbereitung und -analyse in einem Elektronenmikroskop ist ebenfalls eingeschlossen, mit Ausnahme von Techniken, bei denen massengefilterte Ionen als detektierte Spezies verwendet werden. Ausgeschlossen: Oberflächenanalysetechniken, die sich im Zuständigkeitsbereich des ISO/TC 201 befinden. Anmerkung: Das Ziel ist die Analyse der Zusammensetzung und der Strukturmerkmale eines Festkörpers. Das Analysevolumen wird üblicherweise eine Tiefe von bis zu 10 Mikrometer und eine Oberfläche von weniger als 100 Quadratmikrometer umfassen.

Nationales Spiegelgremium von ISO/TC 202

Kurzbezeichnung Name
NA 062-08-18 AA Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse