BS IEC 62047-47
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of bending strength of microstructures

Titel (englisch)

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of bending strength of microstructures

Ausgabe 2024-08-28

Originalsprache Englisch

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