Technische Regel
[AKTUELL]
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung
Titel (englisch)
Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement
