UNE-EN 62047-16
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)

Ausgabe 2015-08-01

Originalsprache Englisch

Preis ab 61,00 €

Kaufen bei DIN Media

Inhaltsverzeichnis

Haben Sie noch Fragen?

Öffnen

Bevorzugte Anrede

Männlich

Weiblich

Neutral

Vorname*

Nachname*

E-Mail*

Telefon

Zu welchem Thema?

Betreff der Nachricht*

Ihre Nachricht*

Sicherheitscode*

Hier finden Sie unsere Datenschutzerklärung

*Pflichtfeld

Normen kaufen

DIN SPEC-Film

DIN-Mitglied werden

Mitmachen in der Normung und Standardisierung

Informationen für Verbraucher

50 Jahre. 50 Normen. Wettbewerbsfähigkeit braucht starke Standards

DIN-Mitglied werden Profitieren Sie von vielen Vorteilen

UNE-EN 62047-16 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)

Haben Sie noch Fragen?

UNE-EN 62047-16
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)