UNE-EN 62047-21
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (Endorsed by AENOR in November of 2014.)

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (Endorsed by AENOR in November of 2014.)

Ausgabe 2014-11-01

Originalsprache Englisch

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