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DIN-Normenausschuss Technische Grundlagen (NATG)

Kurzreferat

Dieses Dokument beschreibt die Konstruktions- und messtechnischen Merkmale von Geräten für die phasenschiebende Interferometrie (PSI) zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopographie extrahiert werden können, sind die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilmessungen anwendbar.

Beginn

2022-10-18

WI

00290255

Geplante Dokumentnummer

DIN EN ISO 25178-603

Projektnummer

15202840

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 152-03-03 AA - Oberflächen  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 290 - Geometrische Produktspezifikationen und -prüfung  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 213/WG 16 - Flächen- und profilhafte Oberflächenbeschreibung  

Ersatzvermerk

Vorgesehen als Ersatz für DIN EN ISO 25178-603:2014-02

Norm-Entwurf

Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO/DIS 25178-603:2023); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 25178-603:2023
2023-12
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Vorgänger-Dokument(e)

Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-603:2013
2014-02